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AI×機器分析による異常評価事例

AI の異常検知精度/ 処理能力を活かし、異常の本質を科学的に究明します。

AIによる異常検知

膨大なデータの中から異常を識別し、異常領域を可視化

半導体素子上の異常検知

半導体素子上の異常
半導体素子上の異常
正常データのみの学習で異常領域を検知
検知した異常領域
POINT

素子上の異常を精度良く検知し異常領域を定量的に抽出

異常箇所の機器分析

データ分析で異常モードを分類し、機器分析で異常の本質を捉える

AIで検知した異常の分析

クラスタ分析
主要な異常に着目し機器分析による評価
異常箇所の電子顕微鏡画像(断面)
POINT

異常を科学的に評価することで異常発生メカニズムの推定が可能

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掲載日
測定法・加工法 SEM/SEM-STEM
計算科学・AI・データ解析
製品分野 光デバイス
電子部品
製造装置・部品
分析目的 形状評価/故障解析・不良解析

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