AI の異常検知精度/ 処理能力を活かし、異常の本質を科学的に究明します。
AIによる異常検知
膨大なデータの中から異常を識別し、異常領域を可視化
半導体素子上の異常検知



POINT
素子上の異常を精度良く検知し異常領域を定量的に抽出
異常箇所の機器分析
データ分析で異常モードを分類し、機器分析で異常の本質を捉える
AIで検知した異常の分析


POINT
異常を科学的に評価することで異常発生メカニズムの推定が可能
AI の異常検知精度/ 処理能力を活かし、異常の本質を科学的に究明します。
膨大なデータの中から異常を識別し、異常領域を可視化



素子上の異常を精度良く検知し異常領域を定量的に抽出
データ分析で異常モードを分類し、機器分析で異常の本質を捉える


異常を科学的に評価することで異常発生メカニズムの推定が可能
| 掲載日 | |
|---|---|
| 測定法・加工法 | SEM/SEM-STEM 計算科学・AI・データ解析 |
| 製品分野 | 光デバイス 電子部品 製造装置・部品 |
| 分析目的 | 形状評価/故障解析・不良解析 |
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