HAADF-STEM像とは

HAADF-STEM：高角散乱環状暗視野走査透過顕微鏡法

概要

原理

HAADF-STEM（High-Angle Annular Dark Field Scanning TEM）像は細く絞った電子線を試料に走査させながら当て、透過電子のうち高角に散乱したものを環状の検出器で検出することにより得られます。

特徴

Z²ρが大きな材料の方がより高角に散乱される
↓
重い元素はSTEM像では暗く、HAADF-STEM像では明るい

原子量（Z）に比例したコントラストが得られることから、Zコントラスト像とも呼びます。

データ例

STEM像とHAADF-STEM像