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球面収差補正機能

TEM: 透過電子顕微鏡法

概要

球面収差補正機能(=Csコレクタ)つきSTEM装置では、原子レベルでの高分解能観察・高感度分析が可能です。分解能は約0.10nmです。

原理

データ例

STEM像とEDX元素マッピング:GMR素子断面

 

※Giant Magneto Resistive Effect(巨大磁気抵抗効果) (資料提供:株式会社日立ハイテクノロジーズ)

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MST技術資料No. B0108
掲載日
測定法・加工法 [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
製品分野 LSI・メモリ
電子部品
分析目的 組成分布評価/構造評価

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