TEM: 透過電子顕微鏡法
概要
球面収差補正機能(=Csコレクタ)つきSTEM装置では、原子レベルでの高分解能観察・高感度分析が可能です。分解能は約0.10nmです。
原理

データ例
STEM像とEDX元素マッピング:GMR※素子断面


※Giant Magneto Resistive Effect(巨大磁気抵抗効果) (資料提供:株式会社日立ハイテクノロジーズ)
球面収差補正機能(=Csコレクタ)つきSTEM装置では、原子レベルでの高分解能観察・高感度分析が可能です。分解能は約0.10nmです。



※Giant Magneto Resistive Effect(巨大磁気抵抗効果) (資料提供:株式会社日立ハイテクノロジーズ)
| MST技術資料No. | B0108 |
|---|---|
| 掲載日 | |
| 測定法・加工法 | [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 [TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM) |
| 製品分野 | LSI・メモリ 電子部品 |
| 分析目的 | 組成分布評価/構造評価 |
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