XPS：X線光電子分光法 など
概要
高純度不活性ガス雰囲気下で試料前処理、搬送、測定を行うことで表面酸化、水分吸着を抑えた評価が可能です。
適用例
- 半導体電極材料 剥離面において、酸化の影響を抑えた評価ができます。
- 有機EL材料 開封から不活性ガス雰囲気下で作業を行うことで、材料の劣化を防ぎます。
- 電池材料
Ar雰囲気下で取り扱うことで、変質しやすいLi等も評価が可能です。
データ例
雰囲気制御の有効性を切削加工後のCu表面の酸化膜厚（XPS分析）で評価しました。
CuのXPSスペクトル
装置までの移動方法とCu酸化膜厚（nm）の比較
