EBSD：電子後方散乱回折法
透過EBSD法による空間分解能の向上
薄片化した試料でEBSD分析を行うことにより、従来のバルク試料よりも高い空間分解能を得ることができます。※
※)引用：R. R. Keller, R.H. Geiss : “Transmission EBSD from 10 nm domains in a scanning electron microscope”, Journal of Microscopy, Vol. 245, Pt 3 2012, pp. 245-251
分析事例
Cu膜のEBSD測定
薄片化することにより、これまで測定が難しかった10～30nmの小さい結晶粒の検出が可能となっています。
