SRA：広がり抵抗測定法
キャリア濃度への変換
（1）斜め研磨した試料面に2探針を接触させ直下の広がり抵抗（Ω）を測定します。
（2）標準試料の測定より校正曲線＊）を作成し、それを用いて抵抗を比抵抗（Ω・cm）に変換します。
また、必要に応じて体積補正による分布の補正を行います。
＊)校正曲線は導電型(p型/n型)、および面方位によって異なります
（3）比抵抗とキャリア濃度の関係を示すThurberの曲線を用いてキャリア濃度(/cm³)を算出します。
なお、キャリア濃度と比抵抗には以下の関係があります。
