ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法
概要
クリーンルームや生産ラインなどの環境中に浮遊する金属元素は、製品に付着・混入することで、製品の性能悪化の原因となり得ます。ICP-MSでは、清浄なSiウエハで暴露試験を行い、表面に付着した金属元素量をpptレベルで測定することができます。
なお、事前に洗浄処理をしたSiウエハの貸出しも行っております。
ウエハ発送から分析までの流れ
分析可能な元素
- 貸出し用ウエハは、直径200mmのものになります。
- 幅広い元素の情報を取得したい場合は、定性・半定量分析が有効です。
また、着目元素が決まっている場合は、定量分析をお勧めします。
