分析の
お問い合わせ

代表的な材料・目的別のTDS解析例

TDS:昇温脱離ガス分析法

概要

TDSは高真空中(1E-7 Pa)で試料を昇温させ、脱離したガスを検出する手法です。高真空中で試料を等速昇温するため微量な脱ガス(単原子層レベル)についても温度依存性を確認することができます。また一部の成分については脱離したガスの分子数も算出可能です。
以下に、代表的な材料別にTDSを適用した例をご紹介します。

解析例

この分析事例のPDFファイルを開く

MST技術資料No. B0232
掲載日
測定法・加工法 [TDS]昇温脱離ガス分析法
製品分野 LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
ディスプレイ
製造装置・部品
酸化物半導体
分析目的 微量濃度評価/その他

Consultation

分析のご相談・
お申し込み

経験豊富な営業担当が、
最適な分析プランを提案します。
分析費用のお見積もりも
お気軽にお問い合わせください。
ご相談・お申し込みは、専用フォーム
またはお電話にて承ります。

03-3749-2525