Xe-プラズマFIB（Xe-Plasma Focused Ion Beam）
数百μmの広い領域を対象に精密加工/構造評価が可能
解析事例：DRAMパッケージ内ボンディングの広域断面解析
分子動力学計算によるリチウム硫黄電池正極中のリチウムイオン拡散挙動評価
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Xe-プラズマFIBによる構造解析
| MST技術資料No. | B0255 |
|---|---|
| 掲載日 | |
| 測定法・加工法 | ［SEM］走査電子顕微鏡法 ［Slice&View］三次元SEM観察法 ［EBSD］電子後方散乱回折法 ［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法 X線CT法 ［FIB］集束イオンビーム加工 その他 |
| 製品分野 | LSI・メモリ |
| 分析目的 | 形状評価/構造評価/故障解析・不良解析/製品調査 |
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