固体試料表面の質量分析法の使い分け

TOF-SIMS, MALDI-MS

概要

代表的な固体試料表面の質量分析法であるTOF-SIMSとMALDI-MSでは、ともに定性分析やイメージング分析が可能です。ハードイオン化法を利用するTOF-SIMSでは、質量が数百までの無機・有機成分を高感度に検出できます。一方、ソフトイオン化法を利用するMALDI-MSでは、数千～数万の高分子を検出できます。また、照射ビームの径に依存してイメージの空間分解能も異なります。目的成分やイメージング視野の大きさなどに応じて、両手法を使い分けることが有効です。