Ga線（HAXPES）およびAl線・Mg線（XPS）測定によるスペクトル比較
概要
HAXPESでは励起光に硬X線（Ga線）を用いており、通常のXPS測定で用いられるAl線・Mg線とはオージェピークの位置が異なります。そのため、Al線・Mg線測定において光電子ピークとオージェピークが重複した試料でも、Ga線測定ではその重複を回避でき、詳細な結合状態評価が可能です。
本資料では、Ga線（HAXPES搭載）およびAl線・Mg線（XPS搭載）で測定した、コバール（Fe,Ni,Coの合金)およびGaNのスペクトルを紹介します。
事例1 コバール（Fe,Ni,Coの合金）
■Ga線（9.25keV, HAXPES） ：ピークの重なりが無く、詳細な評価が可能
■Al線（1.49keV, XPS）：Fe,Coの酸化物ピーク位置に、Co・Ni, Feオージェピークが重なる
■Mg線（1.25keV, XPS）：OにCoオージェピークが近接する
事例2 GaN
Ga線を用いたHAXPESでは、オージェピークの重複回避に加え、表面酸化・表面有機汚染の影響が少ない測定が可能です。（※Ga線O1sおよびC1s参照）
これはAl線・Mg線の検出深さが～8nmであるのに対し、HAXPESの測定深さが～50nm程度となるためです。
■Ga線（9.25keV, HAXPES）：ピークの重なりが無く、詳細な評価が可能
■Al線（1.49keV, XPS）：NにGaオージェピークが重なる
■Mg線（1.25keV, XPS）：CにGaオージェピークが重なる
Niに重複するFオージェピーク、Mnに重複するNiオージェピーク（二次電池正極他）等の回避も可能です。
（関連資料：C0659）
POINT
