非接触三次元測定装置
スペック
- 測定原理： ポイントオートフォーカスプローブ [特徴]試料表面の色や反射率の影響を受けることなく広範囲の高精度測定が可能
- 可動範囲： X軸250mm , Y軸200mm , Z軸100mm
- 高さ測定(Z) ： 測定精度(0.3 + 0.5 L / 10) μm ※L ： 測定視野領域幅(mm)
- 幅測定(X ,Y) ： 測定精度(2 + 4 L / 1000) μm ※L ： 測定視野領域幅(mm)
- 測定再現性： σ = 0.03 μm
- 評価物条件： 最大高さ105mm , 最大重量12kg
分析事例：6インチSi ウェハの反り評価
観察データ
解析データ
