ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価

XPSによる結合状態別の深さ方向分布評価

概要

XPSでは金属の表面酸化皮膜について、金属成分と酸化成分を分離して検出することができます。 また、アルゴンイオンスパッタリングを併用することにより、深さ方向の状態評価も可能です。 SUS316ステンレス鋼を酸洗処理したサンプルについて、不動態皮膜のXPS深さ方向状態分析を行いました。この結果、酸洗処理により酸化膜が薄くなるとともに、皮膜中のCrOx比が高くなり、その程度は硝フッ酸より硝酸において顕著でした。

データ

関連資料

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XPS・AESによる深さ方向分析の比較(B0211)

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SEMI規格に準拠した ステンレス表面不動態膜の評価(C0612)