FFTM法による格子像解析
概要
Fast Fourier Transform Mapping法は、高分解能TEM像をフーリエ変換し、FFTパターンのスポット位置から結晶の微小な格子歪みを解析、可視化する方法です。FFTM解析により、（1）画像のx, ｙ方向の格子歪みの解析、（2）結晶面方向の格子歪みの解析、（3）結晶面間隔分布、結晶面方位分布の解析、（4）データ分布のヒストグラム表示、（5）空間分解能5nmで0.5%の歪の検出、が可能です。
化合物ヘテロ接合多層膜試料に適用した例を示します。
データ
サンプルご提供：東京大学 霜垣 幸浩先生
