微小領域・ガラス基板についてもSSDPによる分析が可能
概要
二次イオン質量分析法（SIMS）を用いて、市販ＴＦＴ液晶ディスプレイのデータ信号配線とゲート電極配線の交差部（4μm×10μm）を、基板側から分析（SSDP-SIMS）した例を示します。
基板側から測定（SSDP-SIMS）を行うことにより、表面側の高濃度層や金属膜などの影響がないデータの提供が可能となります。
データ
分子動力学計算によるリチウム硫黄電池正極中のリチウムイオン拡散挙動評価
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