Cu表面のXPSによる酸化状態評価

Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出

概要

Cu2p_3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。
主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。
以下、各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。
（クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）

データ

スペクトル例：Cu,Cu₂O,CuO,Cu(OH)₂成分を分離

Cu化合物の定量

Cu酸化膜の厚さ：取出角75度（≦7nmの膜厚は算出可）