高い垂直方向分解能で小さな凹凸を可視化可能
概要
走査型白色干渉計（光干渉計）は、試料の表面形状を「高い垂直（Z）分解能（0.1nm）と広い（X-Y）測定視野（50μm～4.2mm）」で、高精度に非接触3次元測定を行うことが可能です。Si/SiGe積層試料表面（クロスハッチパターン）の形状観察の事例を紹介します。
平均粗さ（Ra）～1nmの形状評価可能です。
データ
サンプルご提供：東京農工大学 大学院 工学教育部 電気電子工学専攻 須田良幸先生
分子動力学計算によるリチウム硫黄電池正極中のリチウムイオン拡散挙動評価
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