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ZnO膜表面の形状観察

広域の表面形状観察が可能

概要

走査型白色干渉計(光干渉計)は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm~5mm)」で高精度に、非接触3次元測定を行うことが可能です。5mm×5mmの視野まで測定可能です。

データ

サンプルご提供:信州大学 工学部 電気電子工学科 橋本佳男先生

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MST技術資料No. C0052
掲載日
測定法・加工法 白色干渉計測法
製品分野 電子部品
分析目的 形状評価

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