酸化チタンアナターゼ型とルチル型の判別

TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です

概要

電子材料・触媒材料・紫外線吸収剤・光触媒などに用いられる酸化チタン（TiO₂）には組成が同じで結晶構造の異なるアナターゼ型とルチル型が存在します。Si基板上に成膜した厚さ20nmの多結晶TiO₂試料（写真1）について電子線プローブを約1nmΦ（FWHM）まで絞って測定を行いました。試料から取得したEELSスペクトルは、Ti, Oともにアナターゼ型TiO₂の標準スペクトルと一致しています（図1, 2）。

データ

Ti-L_2,3エッジおよびO-Kエッジは主に各々Ti2p→Ti3dおよびO1s→O2pの電子遷移に対応しています。