雰囲気下での加工で酸化劣化を防止
概要
有機EL素子は大気中で劣化しやすいため、雰囲気制御下での加工が必要となります。有機EL素子について、雰囲気制御下で加工を行い、大気に暴露しないものについてAlq3の測定結果を示します。大気に放置すると、Alq3に酸素がついたピークが強い傾向が見られます。雰囲気制御下では、Alq3の親イオンが強い傾向が見られます。
大気に暴露しないことで、より真の状態に近い結果が得られます。
データ

有機EL素子は大気中で劣化しやすいため、雰囲気制御下での加工が必要となります。有機EL素子について、雰囲気制御下で加工を行い、大気に暴露しないものについてAlq3の測定結果を示します。大気に放置すると、Alq3に酸素がついたピークが強い傾向が見られます。雰囲気制御下では、Alq3の親イオンが強い傾向が見られます。
大気に暴露しないことで、より真の状態に近い結果が得られます。

| MST技術資料No. | C0088 |
|---|---|
| 掲載日 | |
| 測定法・加工法 | [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法 大気非暴露 |
| 製品分野 | ディスプレイ |
| 分析目的 | 組成評価・同定 |
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