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有機EL素子の層構造評価

雰囲気下での加工で酸化劣化を防止

概要

有機EL素子は大気中で劣化しやすいため、雰囲気制御下での加工が必要となります。有機EL素子について、雰囲気制御下で加工を行い、大気に暴露しないものについてAlq3の測定結果を示します。大気に放置すると、Alq3に酸素がついたピークが強い傾向が見られます。雰囲気制御下では、Alq3の親イオンが強い傾向が見られます。
大気に暴露しないことで、より真の状態に近い結果が得られます。

データ

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MST技術資料No. C0088
掲載日
測定法・加工法 [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
 大気非暴露
製品分野 ディスプレイ
分析目的 組成評価・同定

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