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フッ素系膜の分布状態評価および成分分析

微小領域の面分析による分布の均一性評価と有機物の同定・推定

概要

撥水処理における撥水面の状態は、フッ素系化合物が島状(アイランド状)に分布しているか均一に分布しているかの違いで異なります。そこで、TOF-SIMSを用いて、フッ素系化合物の分布の観察を行いました。その結果、不均一に分布していることがわかりました。また、1μm角の領域で定性分析を行うことで、フッ素系膜はKrytoxであることがわかりました。

データ

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MST技術資料No. C0113
掲載日
測定法・加工法 [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製品分野 電子部品
日用品
分析目的 組成評価・同定/組成分布評価

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