TEMによる多元系金属微粒子の結晶構造観察

InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察

概要

Csコレクタ（球面収差補正機能）付きSTEM装置により、超高分解能観察（分解能0.10nm）が可能となりました。原子量に敏感なHAADF^※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたので紹介します。
異種材料界面・化合物界面の原子配列、粒界偏析評価などに応用できます。
※High-Angle Annular Dark-Field：原子量（Z）に比例したコントラストが得られます。

データ

InGaZnO₄粒子の超高分解能TEM像（STEM像）

InGaZnO₄結晶モデル

HAADF-STEM像

シミュレーション像