pn判定を含む拡散層の構造を明瞭に観察可能
概要
市販LSI内のNPNバイポーラトランジスタについて全景からエミッタ部の拡大まで詳細に観察が可能です。
エミッタ電極の中心を通る断面を露出させ、AFM観察、SCM測定を行った事例です。
AFM像と重ねることで、配線との位置関係がはっきりします。
データ
測定箇所
測定結果
分子動力学計算によるリチウム硫黄電池正極中のリチウムイオン拡散挙動評価
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