イメージングSIMSにより微小領域・微量元素の濃度分布を可視化できます
概要
市販品MEMSについて、BとAsの三次元イメージングSIMS測定を行いました（測定領域：75μｍ角、深さ：約1.5μm）。測定後のデータ処理により、任意断面・任意深さの面分布、任意領域の深さ方向分布、任意箇所のラインプロファイルの抽出が可能です。
注）イオンビームで試料を掘りながら、深さ方向にイメージを取り込みますので、破壊分析となります。
データ
イオンイメージ：任意の平面及び、断面方向の不純物濃度分布を可視化できます
デプスプロファイル：任意の領域の深さ方向不純物濃度分布を抽出し、評価します
※検出感度は抽出領域の大きさに依存します。
抽出領域が大きいほど高感度分析が可能になります。
ラインプロファイル：任意の領域の平面方向不純物濃度分布を抽出し、評価します
※平面上に任意の幅のラインを引いて濃度分布を抽出します。
深さの位置は指定可能です。
