任意断面のEBIC測定で特徴があった箇所の直交断面観察
概要
EBICとEBSDで電気的性質と結晶の関連性についての知見が得られますが、情報の深さが異なります。EBIC分布測定で電気的性質が特徴的であった箇所について、直交断面を作製し、奥行き方向のSTEM像観察を行いました。また、各結晶粒について電子回折を測定しました。これにより、電気的性質と結晶粒・結晶粒界の関係がより一層、明らかになりました。STEM観察および電子回折測定を行うことにより、特定箇所の結晶粒について局所的な情報を得ることが可能です。
データ
サンプルご提供：東京工業大学 山田明研究室 [Ref.]草葉他，第57回応用物理学関係連合講演会（2010年春季18p-TK-8）
