TOF-SIMSにより表面付着物成分を同定します
概要
粘着テープの残渣は、製造工程において密着不良・剥離の原因となります。不良の原因として残渣が疑われる場合、表面付着物の成分とその分布を調べることができるTOF-SIMSが有効です。
粘着テープをSiウエハ表面に張り、剥がした後のSiウエハ表面および粘着テープの表面をTOF-SIMSで測定した事例をご紹介します。
データ
粘着テープAの表面に存在するBa（安定剤由来）が、Siウエハ表面に付着物として残っている様子が確認されました（図1）。 貼り付けるテープの種類を変えたところ、粘着テープBではジオクチルフタル酸（可塑剤DOP由来）が、粘着テープCではアセチルクエン酸トリブチル（可塑剤ATBC由来）がSi表面から検出されました（図2)。
このように、TOF-SIMSでは有機材料の成分とその分布を評価することができるため、残渣がどの工程で生じたものか、何に由来したのかを調べることが可能です。
