TOF-SIMSにより光学顕微鏡で見えないシミや洗浄残渣の分析が可能
概要
一般的に汚れを落とすために、綿棒にエタノールをつけ拭き取ることがあります。エタノールをつけた綿棒でSiウエハ表面を拭いた際、表面に何が分布するのかTOF-SIMSを用いて分析を行いました。
エタノールをつけた綿棒で拭いたSiウエハには、光学顕微鏡でみられないシミが分布しており、綿棒に起因することがわかりました。TOF-SIMSでは光学顕微鏡で見えないシミや、洗浄残渣の分析に有効です。
データ
分析サンプル
Siウエハ表面を、エタノールをつけた綿棒で拭き、拭いた箇所についてTOF-SIMSで分析を行いました。
図1 サンプル概要
装置内光学顕微鏡写真ではシミなど見られていませんが、イオンイメージでは分布が見られます。
