ドーパントの定量評価およびキャリアの分布評価
概要
裏面電極型結晶Si太陽電池(バックコンタクト型Si太陽電池)において、電極直下のドーパントの濃度分布を定量的に評価した事例をご紹介します。また、キャリアの分布評価を行うことで、p/nの極性判定や空乏層を断面方向から可視化することが可能です。
データ


裏面電極型結晶Si太陽電池(バックコンタクト型Si太陽電池)において、電極直下のドーパントの濃度分布を定量的に評価した事例をご紹介します。また、キャリアの分布評価を行うことで、p/nの極性判定や空乏層を断面方向から可視化することが可能です。


| MST技術資料No. | C0212 |
|---|---|
| 掲載日 | |
| 測定法・加工法 | [SIMS]二次イオン質量分析法 [SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法 その他 |
| 製品分野 | 太陽電池 |
| 分析目的 | 微量濃度評価/形状評価/製品調査 |
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