様々なAl組成のAlGaN標準試料をラインアップ
概要
SIMS分析において、より確かな濃度定量値を算出するには測定サンプルと組成の近い標準サンプルを用いることが不可欠です。
紫外LEDやUVセンサに用いられるAlGaNについて、Al含有量に応じたAlGaN標準試料を幅広く取り揃えたことで、より高精度にAlGaN中不純物濃度を求めることができるようになりました。
UVセンサのSIMS分析を行い、ドーパントであるSi濃度を定量した事例を紹介します。
データ
AlGaN標準試料により定量可能な元素
- ドーパント： Mg,Si
- 大気成分 ： H,C,O
SIMS分析結果
AlGaN中のSi濃度をGaN標準試料を用いて定量すると、GaN中よりも10倍高い値で算出されました。
着目のAlGaN 層と組成の近い標準試料を用いて定量を行うことで、AlGaN 中とGaN 中とで実際にはSi濃度に大きな違いがないことがわかりました。
