対象元素に応じて測定条件を選択
概要
フレキシブル薄膜Si太陽電池において、a-Si（アモルファスシリコン）中のドーパントの濃度分布を定量的に評価した事例をご紹介します。樹脂で封止されたサンプルを解体し、SIMS分析を行いました。
Bの分析（図3）では表面側の浅い箇所に存在するため、深さ方向分解能を高めて測定を行いました。
Pの分析（図4）ではa-Si中に多量のHが存在して質量干渉を起こすため、高質量分解能法によりH+Siを分離してPのみを検出する条件で測定を行いました。
データ
分析サンプル概要
SIMS分析結果
