昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価
概要
Pt をSi 基板にスパッタ蒸着させた試料に対して、昇温させながらOut-of-plane XRD, In-plane XRD 測定をそれぞれ行いました。両測定で、Pt(111) は500℃より高い温度ではピーク強度が増加し、半値幅が小さくなり、結晶化が進行していることが分かりました。
また、温度が上昇するにつれ、熱膨張によりピークが低角度側（格子間隔が広がる方向）にシフトしていることを確認できました。
データ
Out-of-plane XRD 測定結果
In-plane XRD 測定結果
