膜厚・密度・結合状態を評価
概要
SiCパワーデバイスは、電力損失を抑え、小型で大電力を扱える電力変換素子として期待されています。
デバイスの特性を向上させるために必要なゲート酸化膜の膜厚、密度をXRR（X線反射率法）および結合状態をXPS（X線光電子分光法）で評価した事例をご紹介します。
データ
ゲート酸化膜の膜厚、密度、結合状態などが定量的に扱え、プロセス管理等に有効です。
サンプルご提供：奈良先端科学技術大学院大学 冬木隆研究室
分子動力学計算によるリチウム硫黄電池正極中のリチウムイオン拡散挙動評価
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