複合解析で活性化率に関する評価が可能
概要
SIMSによる不純物濃度分布とSRAによるキャリア濃度分布を比較することで、ドーパントの活性化状態がわかるだけでなく、整合しない領域には未知の不純物の存在、構造的な問題の内在が示唆されます。
Profile Viewerを用いれば、お手元でSIMSのデータとSRAのデータを重ね、解析することが可能です。
一例として、市販のダイオードチップについて、パッケージ開封後のダイオードチップ表面中央部と外周部（図1）および裏面について、SIMSとSRAを行った事例をご紹介します。
データ
図2の構造の市販のダイオードチップのSIMSとSRAの結果を図3-1～3に示します。
結果、ダイオードチップの表面は、N–層の上にBが注入されおり（図3-1,2）、ダイオードチップの裏面は、AsドープN+基板にPが注入されていました（図3-3）。
SIMSとSRAを行う事で、ドーパント及びキャリアの濃度分布、活性化率の違いについて評価できます。
