ICP-MSによるIGZOの主成分及び金属不純物元素の定量分析
概要
透明酸化物半導体であるIGZO薄膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいます。
IGZOは薄膜の組成や膜中の不純物量で特性が変化する材料であり、組成・不純物の情報を得ることは重要です。
今回は薄膜の原料であるIGZO粉末の主成分及び金属不純物元素量について、ICP-MSを用いて高精度に評価した事例を紹介します。粉末に限らずバルク・薄膜でも分析可能です。
データ
試料調整
着目成分を酸に完全溶解しICP-MS測定を行います。
IGZO粉末試料の測定結果
IGZO粉末を酸に溶解し、ICP-MS分析を行いました。
表1に示すように高い精度で組成を評価できました。
また、表2に示すように不純物としてZrが含まれていることが確認できました。
