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SEMによる極低加速電圧条件での微細構造観察

極低加速SEM観察によるセパレータ構造評価

概要

リチウムイオン二次電池に使われているセパレータに代表されるように、材料の多孔性や形状といった微細構造は製品の特性や機能を左右します。材料が樹脂やポリプロピレン(PP)など軟化点が低い場合、観察時の電子線照射により試料が損傷を受け、本来の構造が変化してしまうことがあります。
加速電圧0.1kVという極低加速SEM観察により、変質を抑えて試料最表面の形状を詳細に評価した事例をご紹介します。

データ

Liイオン二次電池に使用されているPP製セパレータ表面のSEM観察を行いました。

加速電圧:2.0kV

加速電圧2.0kVでは電子線照射により試料に変質が見られ、試料本来の形状を捉えられておりません。

加速電圧:0.1kV

加速電圧0.1kVでは試料の凹凸形状や微多孔質の構造を鮮明に確認することができました。

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MST技術資料No. C0336
掲載日
測定法・加工法 [SEM]走査電子顕微鏡法
製品分野 二次電池
分析目的 形状評価

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