Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察
概要
TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。
本事例では市販のハードディスクから磁気ヘッドを取り出し、MTJ：磁気トンネル接合（Magnetic tunneljunction）部の高分解能（HR）-TEM観察を行ったデータを紹介します。
このように金属の極薄膜の多層構造でも明瞭に構造を観察することが可能です。
データ
分子動力学計算によるリチウム硫黄電池正極中のリチウムイオン拡散挙動評価
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