Csコレクタ付STEMによる原子分解能EDXマッピング
概要
TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。
本事例ではCIGS薄膜太陽電池の光吸収層の高分解能STEM観察と原子分解能EDXマッピングを行ったデータを紹介します。4種類の元素からなる多結晶構造を持つCIGSにおいて、視覚的に原子の分布を明らかにすることができました。
データ
図1 CIGS太陽電池の断面
CIGS〈110〉
図3 原子配列イメージ
