IC（イオンクロマトグラフ）法でアミン類の測定が可能です
概要
水酸化テトラメチルアンモニウム（TMAH）は、半導体の現像液やエッチング液として用いられています。
Siのエッチング液に用いたTMAH溶液の濃度を測定する場合、溶液中に多量に溶解したSiが夾雑物となり、測定結果に影響を与える場合がありますが、IC（イオンクロマトグラフ）法による評価ではSiの影響を受けることなく、TMAH濃度の定量分析が可能です。
データ
Siを0.4～10mg/L含有した場合の10mg/L TMAH溶液の濃度を評価しました。
Si含有量に関わらずTMAH濃度の評価が可能です。
