最表面シラノール基の評価

TOF-SIMSでシラノール基の定量的な評価が可能です

概要

5か月間に渡りシラノール換算値の異なる各サンプルをTOF-SIMSにて測定後、切片が0となるように検量線を作成。長期における実験でも、ばらつきの少ない検量線が引けています。

データ

検量線

5か月間に渡りシラノール換算値の異なる各サンプルをTOF-SIMSにて測定後、切片が0となるように検量線を作成。長期における実験でも、ばらつきの少ない検量線が引けています。

【参考情報】PDMSの影響について

表面はPDMSで汚染されていることが多々あります。TOF-SIMSの「シラノール基相当のフラグメント」を用いた結果は、PDMSの影響を受けにくい値の算出が可能です。

測定例

ガラス・Siウエハ・シランカップリング剤（HMDS）で処理したSiウエハの各表面シラノール基を分析しました。ガラス表面にはシラノール基相当が最も多くなりました。
SiウエハをHMDS処理すると、未処理のSiウエハと比較し値が低いことがわかります。