DLC膜のsp2/(sp2+sp3)比高精度定量化

XAFSによる高精度解析

概要

コーティング材料として幅広い分野で用いられているDLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜はミクロな視点から見ると、ダイヤモンド構造に対応するsp³混成軌道有する炭素元素と、グラファイト構造に対応するsp²混成軌道を有する炭素元素が混ざり合って構成されています。
DLC膜の特性を決める一つの指標として、sp²/(sp²+sp³)比が挙げられます。XAFSによってDLC膜のsp²/(sp²+sp³)比の高精度定量化が可能です。

データ

従来の手法では分離の精度が不十分であったDLC膜のsp²/(sp²+sp³)比をXAFSによって高精度に評価することが可能です。検出深さ数nm程度の情報が得られます。