Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察
概要
ABF-STEM像(走査透過環状明視野像)により軽元素の原子位置を直接観察することができます。
HAADF-STEM像との同時取得で、より詳細な構造解析が可能となりました。
本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせることで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができます。
データ
HAADF-STEM像

ABF-STEM像

EDX面分析結果

ABF-STEM像(走査透過環状明視野像)により軽元素の原子位置を直接観察することができます。
HAADF-STEM像との同時取得で、より詳細な構造解析が可能となりました。
本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせることで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができます。



| MST技術資料No. | C0390 |
|---|---|
| 掲載日 | |
| 測定法・加工法 | [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 [TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM) |
| 製品分野 | LSI・メモリ |
| 分析目的 | 形状評価/構造評価 |
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