XPSによる詳細な結合状態評価と膜厚計算
概要
XPSでは試料表面の化学結合状態を評価することができ、波形解析により更に詳細な評価をすることが可能です。加えて、波形解析結果に仮定パラメータを用いることで、表面酸化膜等の膜厚を算出することも可能です。
本資料では、SiC表面の組成・状態評価を行うとともに、取得したピーク強度から酸化膜厚を算出した事例をご紹介します。
データ
SiC表面測定 検出深さ4～5nm / 上段：Si2p,C1sスペクトル、下段：各スペクトルの波形解析
※仮定したパラメーターを用いるため、酸化膜厚は参考値としてのお取扱いをお勧めしています。
