酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価

極浅い領域でも高感度に分析

概要

酸化ガリウムGa₂O₃は、SiCやGaNよりもバンドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。ウエハの開発には、特性を左右する不純物濃度の制御が重要です。本資料ではGa₂O₃膜の表面近傍について、金属元素の定量分析を行った事例を示します。
TOF-SIMSでは極浅い領域でも高感度に評価が可能です。

データ

TOF-SIMS測定により得られたデプスプロファイルを下記に示します。

膜表面近傍では各元素が高濃度存在し、膜内部ではppm～ppbレベルまで減少していることがわかります。この測定における検出下限濃度は表1に示したとおりで、高い検出感度を保っています。

このように、TOF-SIMSの深さ方向分析は浅い領域を高感度分析するのに適しています。