はんだ剥離部断面のTOF-SIMS分析

微小領域の無機・有機物の分布評価が可能です

概要

はんだの剥離原因究明には、はんだと基板界面の成分分析を行うことが有効です。
TOF-SIMSは元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時にできることや、イメージ分析が可能なことから、剥離部の評価に適した手法です。
本資料では、はんだの剥離部断面を分析した事例を示します。基板成分・樹脂成分・樹脂以外の有機成分の分布が確認できました。

データ

結果

剥離部に樹脂成分に由来するC₅H₉,C₆H₅や金属成分Mが分布しております。その他、樹脂成分以外のC₇H₁₁が分布しており、剥離の原因として示唆されます。