TDSによる脱離成分の推定

複数質量の脱ガスパターンを比較します

概要

TDSの分析結果では、一つの質量電荷比（m/z）に対して複数の成分が検出されることがあります。このような場合でも、複数の質量について測定を行い脱ガスパターンを比較することで、昇温加熱により脱離した成分を推定することが可能です。
Si基板上W膜のTDS分析結果を例に、水とアンモニア（m/z=17）、有機物とアルゴン（m/z=40）の成分推定方法について説明します。

データ

（1）水とフラグメントイオン

H₂Oが脱離した場合は、m/z=18の強度に対し一定の割合でm/z=17（フラグメントイオンのOH⁺）が検出されます。

（2）アンモニア

アンモニア（NH₃）はm/z=17に検出されるので、m/z=17と18の脱ガスパターンが異なる場合は、水だけではなくNH₃⁺が検出されたと推定されます。

（3）アルゴン

Arが脱離した場合は、m/z=40の強度に対し一定の割合でm/z=20（Ar⁺⁺）が検出されます。

（4）有機成分

m/z=40の脱ガスパターンがm/z=20（Ar⁺⁺）と異なりm/z=15（CH₃⁺有機物のフラグメントイオン）と挙動が似ている場合は、m/z=40は有機物（C₃H₄⁺など）起因の脱ガスであると推定されます。

※脱ガス成分を推定するためには定性分析（m/z 2～199に対応）が有効です。