多点マッピング測定により膜厚分布を可視化
概要
蛍光X線分析（XRF）では、元素分布や膜厚の簡便な評価が可能です。
本事例では、金属薄膜の評価事例として、4inchのSiウエハ上のAuの膜厚分布について多点マッピング測定をした事例をご紹介します。
多点マッピングを行うことで、各点のXRFスペクトルよりFP(Fundamental Parameter)法を用いてAu膜厚を算出し、測定座標より膜厚分布の評価をすることが可能です。
データ
薄くAu蒸着したウエハ
厚くAu蒸着したウエハ
POINT
分子動力学計算によるリチウム硫黄電池正極中のリチウムイオン拡散挙動評価
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