今後需要が拡大する有機ELの信頼性向上のため、詳細な構造解析や状態分析、劣化原因の特定がさらに重要となります。TOF-SIMSとLC/MSを用い、層構造や材料を評価した事例をご紹介します。 TOF-SIMSにより、層構造と各層の成分情報を評価できました。TOF-SIMSで明らかになった質量Eの成分についてLC/MSおよび蛍光検出器による分析を行い、発光波長の評価と成分の構造を把握することができました。このように、TOF-SIMSとLC/MSを組み合わせた分析により、詳細な評価が可能です。
POINT
TOF-SIMSとLC/MSの組み合わせで、より詳細な成分情報が取得可能
| MST技術資料No. | C0490 |
|---|---|
| 掲載日 | |
| 測定法・加工法 | ［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法 ［LC/MS］液体クロマトグラフィー質量分析法 |
| 製品分野 | 照明 ディスプレイ |
| 分析目的 | 組成評価・同定/化学結合状態評価/形状評価/膜厚評価/故障解析・不良解析/製品調査 |
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