試料のベーク温度の違いによる脱ガスの変化をTDSで確認できます
概要
TDSは昇温と共に脱離する無機ガス・有機ガスについて、脱離の温度依存性も評価可能です。そのため、試料のベーク温度による脱ガスの評価に有効です。
レジスト膜について50℃ベーク、200℃ベークを行い、それぞれについてTDS分析を行った結果を示します。「50℃ベーク後」に検出された200℃までの脱ガスピークが、「200℃ベーク後」では検出されていないことが確認できました。
データ
50℃ベーク後
200℃までに脱ガスあり
- 有機物
- フッ素
- 水
- アンモニア
- SO2
200℃ベーク後
200℃まではほぼ脱ガス無し
POINT
