ラマンマッピングによる応力評価

試料断面における応力分布を確認することが可能です

概要

単結晶Siのラマンスペクトルのピークは、試料に圧縮応力が働いている場合は高波数シフト、引張応力が働いている場合は低波数シフトします。これにより、Siの応力に関する知見を得ることができます。
IGBT（絶縁ゲートバイポーラトランジスタ）の断面について、ラマンマッピングで応力の分布を確認した例を示します。

データ

光学顕微鏡写真

ラマンスペクトル例（単結晶Si）

ラマンマッピング結果（ピークシフト）

IGBTの断面で、単結晶Si の応力に分布がある様子が確認されました。
※ビーム径約1μｍ