試料解体から測定まで一貫して対応します
概要
本資料では、スマートフォン搭載のイメージセンサ拡散層に関して評価した事例をご紹介します。
半導体のp/n型を判定可能なSCM（走査型静電容量顕微鏡）を用い、拡散層がどのような分布となっているかを評価しました。今回、断面と平面のSCM結果を組み合わせることで、相補的かつ広範囲の情報が得られました。
SCM は、イメージセンサ拡散層の出来映え評価や故障解析に有効なツールの一つです。
データ
サンプル概要
スマートフォンを解体し、取り出したレンズの中のイメージセンサを評価しました。
分析結果
イメージセンサを断面方向にSCM分析した結果
- ポイント
製品の解体から対応します。
イメージセンサを平面方向にSCM分析した結果
POINT
